繼全國首條8英寸MEMS研發(fā)中試線落地上海嘉定工業(yè)區(qū)后，近日，由國家智能傳感器創(chuàng)新中心（以下簡稱“創(chuàng)新中心”）建設(shè)的國內(nèi)首條12英寸先進(jìn)傳感器研發(fā)中試線，也在嘉定成功通線。

圖源網(wǎng)絡(luò)（芯研所采編）

芯研所7月4日消息，隨著上海市加快推進(jìn)城市數(shù)字化轉(zhuǎn)型，物聯(lián)感知網(wǎng)絡(luò)越織越密，先進(jìn)傳感器產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展。“面向新興技術(shù)發(fā)展和市場(chǎng)應(yīng)用需求，創(chuàng)新中心將在12英寸中試線持續(xù)開發(fā)新材料、新工藝、新器件等關(guān)鍵共性技術(shù)，重點(diǎn)突破光學(xué)、聲學(xué)、力學(xué)等先進(jìn)傳感器的核心工藝，并推動(dòng)相關(guān)產(chǎn)品及應(yīng)用的產(chǎn)業(yè)化。”創(chuàng)新中心相關(guān)負(fù)責(zé)人表示，未來，將重點(diǎn)搭建共性技術(shù)平臺(tái)，專注于先進(jìn)傳感器特色工藝研發(fā)和中試。

圖源網(wǎng)絡(luò)（芯研所采編）

該中試線以國產(chǎn)設(shè)備為主，具備晶圓鍵合、晶圓減薄、干濕法刻蝕、物理和化學(xué)氣相沉積、原子層沉積、化學(xué)機(jī)械研磨、濕法清洗、自動(dòng)化量測(cè)等先進(jìn)傳感器和晶圓級(jí)3D集成技術(shù)的核心工藝能力，可提供產(chǎn)品研發(fā)、小批量生產(chǎn)、技術(shù)培訓(xùn)、設(shè)備驗(yàn)證等服務(wù)。

圖源網(wǎng)絡(luò)（芯研所采編）

目前，創(chuàng)新中心已聯(lián)合中國傳感器與物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟的1000余家企業(yè)開展共性技術(shù)研發(fā)，形成的“產(chǎn)、學(xué)、研、用”協(xié)同創(chuàng)新機(jī)制，將加速國內(nèi)先進(jìn)傳感器及相關(guān)應(yīng)用的核心技術(shù)發(fā)展，推動(dòng)智能傳感、物聯(lián)網(wǎng)、人工智能的生態(tài)體系建設(shè)。

圖源網(wǎng)絡(luò)（芯研所采編）

硅片一旦沾染微塵，就可能失效，因此中試線必須在無塵室下作業(yè)，而這種高標(biāo)準(zhǔn)廠房的建設(shè)要求極高，其中，最為嚴(yán)苛的是十級(jí)潔凈室，即一分鐘內(nèi)每立方英尺的空間內(nèi)大于0.2微米的微塵必須少于10顆。為此，嘉定區(qū)相關(guān)部門第一時(shí)間為該項(xiàng)目尋找合適的廠房，并跟蹤服務(wù)整個(gè)項(xiàng)目進(jìn)程。

嘉定區(qū)科委主任謝東升表示，加快建設(shè)國內(nèi)首條12英寸先進(jìn)傳感器中試線，有利于打造一個(gè)集研發(fā)、工程、市場(chǎng)、孵化的一體化功能平臺(tái)，推進(jìn)區(qū)域內(nèi)產(chǎn)、學(xué)、研、用的協(xié)同發(fā)展。“以研發(fā)中試線為支點(diǎn)，可以撬動(dòng)更多創(chuàng)新企業(yè)和高層次人才團(tuán)隊(duì)來到嘉定，開展產(chǎn)品技術(shù)研發(fā)。通過整合區(qū)內(nèi)產(chǎn)業(yè)孵化器、產(chǎn)業(yè)基金等資源，助力嘉定打造千億級(jí)智能傳感器及物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)。”

圖源網(wǎng)絡(luò)（芯研所采編）

2021年1-5月，嘉定區(qū)智能傳感器及物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)總產(chǎn)出99.6億元。目前，嘉定區(qū)內(nèi)已集聚智能傳感器及物聯(lián)網(wǎng)企業(yè)超200家，初步覆蓋產(chǎn)業(yè)鏈上中下游各環(huán)節(jié)，擁有國家集成電路材料技術(shù)創(chuàng)新中心等7個(gè)公共服務(wù)性平臺(tái)以及2個(gè)集成電路基金。