在數控機床的故障檢測過程中，借助一些必要的儀器是必要的，儀器能從定量分析角度直接反映故障點狀況，起到決定作用。

　　一、測振儀器

　　測振儀是振動檢測中最常用、最基本的儀器，它將測振傳感器輸出的微弱信號放大、變換、積分、檢波后，在儀器儀表或顯示屏上直接顯示被測設備的振動值大小。為了適應現場測試的要求，測振儀一般都做成便攜式與筆式測振儀。

　　測振儀用來測量數控機床主軸的運行情況、電動機的運行情況，甚至整機的運行情況，可根據所需測定的參數、振動頻率和動態范圍，傳感器的安裝條件，機床的軸承型式（滾動軸承或滑動軸承）等因素，分別選用不同類型的傳感器。常用的傳感器有渦流式位移傳感器、磁電式速度傳感器和壓電加速度傳感器。

　　目前常用的測振儀有美國本特利公司的TK-81、德國申克公司的VIBROMETER-20、日本RI-0N公司的VM-63以及一些國產的儀器。

　　測振判斷的標準，一般情況下在現場最便于使用的是絕對判斷標準，它是針對各種典型對象制定的，例如國際通用標準ISO2372和ISO3945。

　　相對判斷標準適用于同臺設備。當振動值的變化達到4dB時，即可認為設備狀態已經發生變化。所以，對于低頻振動，通常實測值達到原始值的1.5～2倍時為注意區，約4倍時為異常區；對于高頻振動，將原始值的3倍定為注意區，約6倍時為異常區。實踐表明，評價機器狀態比較準確可靠的辦法是用相對標準。

　　二、紅外測溫儀

　　紅外測溫是利用紅外輻射原理，將對物體表面溫度的測量轉換成對其輻射功率的測量，采用紅外探測器和相應的光學系統接收被測物不可見的紅外輻射能量，并將其變成便于檢測的其他能量形式予以顯示和記錄。

　　按紅外輻射的不同響應形式，分為光電探測器和熱敏探測器兩類。紅外測溫儀用于檢測數控機床容易發熱的部件，如功率模塊、導線接點、主軸軸承等。主要制造廠商有中國昆明物理研究所的HcW系列，中國西北光學儀器廠的HCW-1、HCW-2，深圳江洋光公司的IR系列，美國LAND公司的CYCLOPS、SOLD型。

　　利用紅外原理測溫的儀器還有紅外熱電視、光機掃描熱像儀以及焦平面熱像儀等。紅外診斷的判定主要有溫度判斷法、同類比較法、檔案分析法、相對溫差法以及熱像異常法。

　　三、激光干涉儀

　　激光干涉儀可對機床、三測機及各種定位裝置進行高精度的（位置和幾何）精度校正，可完成各項參數的測量，如線形位置精度、重復定位精度、角度、直線度、垂直度、平行度及平面度等。其次，它還具有一些選擇功能，如自動螺距誤差補償（適用大多數控系統）、機床動態特性測量與評估、回轉坐標分度精度標定、觸發脈沖輸入輸出功能等。